二手 SEMITOOL ST 270D #9383156 待售

SEMITOOL ST 270D
製造商
SEMITOOL
模型
ST 270D
ID: 9383156
晶圓大小: 5"
Spin rinser / dryer, 5".
SEMITOOL ST 270D光刻設備是一種自動濕式板凳設備,用於在各種基板上施加薄層光刻材料。該系統旨在對包括矽、石英、玻璃和陶瓷在內的多種基板進行精確處理。ST 270D具有多種功能,如可編程的自備噴霧器、自動更換工具、超精確級、易於使用的人機界面(HMI)和大氣壓力控制單元。該機裝有一個獨立的噴霧臂,無論基板的方向如何,它都能非常精確地噴灑光刻材料。這是由用於移動噴霧臂的高速、高頻驅動電動機所實現的。壓力噴霧器的設計使材料均勻地分布在基板的整個表面上。SEMITOOL ST 270D配備了大氣壓力控制工具,用於調節室內化學品的壓力。這對於光刻膠材料的精密噴塗至關重要,在施加光刻膠材料時允許更高的精確度,而不會快速改變壓力水平。此外,ST 270D還具有處理多種基板的超精確階段。這是通過使用空氣軸承和直線軸實現的,這意味著該級能夠進行非常精確的運動,這對於精確處理光敏材料是必不可少的。SEMITOOL ST 270D還裝有易於使用的人機接口(HMI),用於控制資產。這使操作員能夠快速輕松地控制模型的功能,以及設置不同的過程周期和程序。最後,自動換刀器能夠高精度地更換出各種不同的工具。這樣就可以快速切除加工工具,如紡紗機、噴嘴和拋光頭,從而以極快的速度加工基板。ST 270D是一種高性能的光刻設備,設計用於各種基板的精確加工,並帶有許多特點,旨在提高加工速度和質量。
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