二手 SEMITOOL ST 440 #9194043 待售

SEMITOOL ST 440是一款設計用於半導體加工的光刻設備。該系統能夠對眾多的底物應用抗蝕層，包括矽、矽​​、氮化氙和砷化鋁。ST 440有一個多功能平臺，提供廣泛的曝光和開發選項，包括直接投影（DP）、接觸對齊器（CA）和圖像反轉（IR）。該單元的多功能性使其適合大多數生產光刻工藝。SEMITOOL ST 440配備了一個用於底物裝卸的鎖載室。它具有六軸機械臂，方便晶片從入口載荷和卸載站到加工室的運動。手臂在轉移到加工室後甚至可以清洗晶片。此外,機械臂的存在,以確保準確和精確的基板處理.光刻機有一個數字模式發生器，可以在整個抗蝕層產生大量的形狀和線密度。可以使用2-D或3-D圖像訪問模式生成器。該工具還配備了用於成像和對準的激光源。激光源的波長為400-430 nm,分辨率為5微米.ST 440利用照明資產,可以在低功耗應用的發光二極管（LED）模式和高功率應用的泛光燈模式之間進行選擇。這種照明模型與一個經過人工調節的精密級相結合，為曝光提供了抗蝕層的精確定位。舞臺設計有操縱桿手柄和編碼器，以確保最大精度。設備包含一個三級顯影室，允許溶劑蒸氣顯影、濕法顯影、顯影後沖洗。這樣就不需要在後處理之前進行轉移或取樣。室內熱板的溫度通過精度為+/-1攝氏度的PID過程控制。可以用遠心顯微鏡測量和檢查顯影模式。SEMITOOL ST 440可以處理各種基材，厚度可達200微米厚。它具有快速、可重復的集成電路（IC）處理生產工藝.該系統配有用戶界面，允許輕松調整設置和參數以滿足特定要求。它還設計有安全功能，以確保用戶、基板和設備的安全。