二手 SEMITOOL ST 470 #9207419 待售

SEMITOOL ST 470是一款功能強大、功能齊全的光刻設備,旨在提供廣泛的精確塗層、開發和剝離服務。該系統非常適合在剛性和柔性基板上制造。ST 470配備掃描電子顯微鏡（SEM）、光刻塗層、集成前體單元和自旋處理器，對光刻工藝進行最佳控制和精度。機器的SEM允許對樣品表面進行非常詳細的檢查,從而可以動態控制光掩模的形狀、尺寸和其他處理參數。這用於確保半導體器件、基板和光掩模之間的精確接口。高分辨率的光學顯微鏡還可以很容易地確定基板的平坦度，以及提供光刻成功的快速診斷和驗證。集成前體工具提供了光刻膠或顯影劑的精確交付，從而提高了開發時間和工藝的準確性和控制力。這項資產包括一個內部化學品儲存庫，以及一個智能芯片，跟蹤用於節省時間和減少浪費的液體量。此外,SC 470還擁有一個自旋處理器和一個自動化開發人員,他們采用跨樣本自動交付開發人員解決方案。這樣可以確保開發時間始終一致且準確,以獲得統一的結果。SEMITOOL ST 470還包含一個高精度的熱板，允許溫度的精確實時調整，以最佳性能的抗蝕膜。熱板與模型的集成空氣冷卻配合工作，提供精確的溫度控制，從而實現精確的工藝和薄膜厚度控制，即使在具有挑戰性的基板上也是如此。該設備還采用FOUP負載/卸載系統，使晶片的移動自動化，從而節省時間和精力。FOUP負載/卸載單元還配備了一個有組織的晶片托盤，該托盤帶有集成傳感器，可自動監測和保存每組晶片的位置。ST 470是一種先進的光刻機,為所有光刻工藝提供卓越的精度和控制.該工具具有多種特點，可為任何尺寸的薄膜半導體器件提供更高效、更可重復的處理。