二手 SEMITOOL ST-480 #9156435 待售

SEMITOOL ST-480是一種光刻加工設備，適用於各種工業和學術應用。該系統為光敏材料的開發、加工和表征提供了一系列集成組件。該單元由自動機器人運輸機構組成，以確保光刻加工過程中的精確移動和定位。其精確的運動控制器通過精確的可重復性確保了多個過程之間的可重復結果。此外，機器人被編程為自動調整所需輸出所需的溫度和速度。機器的開發和處理能力包括一系列用於創建薄膜和特定厚度層的抗蝕劑類型。它采用自旋塗層工藝，將光致抗蝕劑均勻、精確地引入基材。同時，該加工站配有基板夾具和自動止動裝置，以保護基板不被過度加工。表征站包括各種成像和分析組件，用於評估工藝結果的質量和準確性。它具有一個表面剖面儀，用於測量光刻層的微粗糙度和均勻度，以及一個用於測量材料光學特性的分光光度計。集成光學顯微鏡組件是可視化過程結果的理想選擇。這一全面的光刻膠工具允許用戶定制其光刻膠工藝，用於創建和分析層，以及用於材料研究和原型設計的潛在應用。ST-480的模塊化設計和集成組件使用戶能夠以可靠的重復性執行高度精確的光刻過程。