二手 SEMITOOL ST 840 #293621586 待售

SEMITOOL ST 840
製造商
SEMITOOL
模型
ST 840
ID: 293621586
Rinser dryers.
SEMITOOL ST 840是一種光刻膠設備,用於從電子到醫療設備制造等多個行業的材料加工。該系統基於最新的光刻技術,具有先進的自動化陣列、成像和對準功能。ST 840設計用於濕法和幹法加工,適用範圍廣泛。它能夠經濟高效地生產具有復雜模式和高精度的設備。該單元配備了一個集成的,單孔徑,全局縱橫比對準基板定位和模式投影。該對齊器設計方便,對齊精度和穩定性。它提供了自動化的陣列和成像功能,可以靈活地移動到基板周圍的多個位置。該機器具有堅固而靈活的曝光室設計,允許各種材料被曝光,包括電介質,導體,和光致抗蝕劑類型。該工具具有高扭矩x, y, z-stage,可重復性降至1um,無漂移運動降至0.5um。先進的自動曝光軟件包可確保曝光的準確性和可重復性。SEMITOOL ST 840采用了一系列自動化功能,包括自動對焦、高分辨率圖像捕獲、平坦度控制和OCR夾具識別。這些自動化系統確保平穩運行,並確保每次都能準確生成所需的模式。光刻膠資產連接到一個中央數據庫,該數據庫提供實時監測、報告和事件分析。該模型還提供了一個安全的在線環境,供客戶訪問內存數據庫並檢查其準確性。采用先進的自動化加速技術來減少暴露時間和過程復雜性。該設備的設計易於融入現有的光刻工藝中,並且具有自我監控和自我診斷的特點,使用戶的維修和維護變得快速而簡單。綜上所述,ST 840光刻膠系統是一種先進的自動化單元,適用於處理多種材料。它采用自動對焦對準和OCR夾具識別等自動化功能構建,以使曝光和陣列顯示可靠、準確。它的集中式數據庫和自我監控能力進一步增加了它的便利性,而它的高扭矩x, y, z-stage使它能夠以極高的精度和可重復性移動到基板周圍的多個位置。
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