二手 SEMITOOL ST 840 #9000640 待售

SEMITOOL ST 840
製造商
SEMITOOL
模型
ST 840
ID: 9000640
Rinser dryer, 4" Single cassette Double stack 1998 vintage.
SEMITOOL ST 840是為自動濕蝕晶片制造應用而設計的光刻設備。它包括一個濕蝕刻系統、光源和化學品,用於在進一步的半導體工業過程之前進行塗層、開發、蝕刻和清洗晶片。光敏裝置可精確控制制造過程的不同階段,如沈積、蝕刻、曝光和蝕刻後清洗。這樣可以確保晶片的制造具有很高的精度和均勻性。光刻機由一個單獨的外殼組成,裏面裝有一個封閉的濕蝕刻工具、一個光源和一個化學浴。濕蝕資產最多可同時有八個晶片,並設有一個壓力調節器、一個用於蝕刻的散裝罐和一個用於加工晶片的紡紗室。光源可獨立調節強度和波長,用於曝光晶片以去除所需的光致抗蝕劑層。化學浴為晶片的開發、蝕刻和後蝕刻清潔提供了受控環境。光刻膠模型設計為允許使用者自訂其處理參數以符合其特定需求。可以將光源設置為可變強度和波長,同時可以調整蝕刻劑、濃度和溫度以創建所需的蝕刻輪廓。此外,清潔工藝可以定制,包括噴霧、擦洗或沖洗操作,晶圓表面可以用自動光學設備監測。ST 840是一種堅固可靠的機器,旨在提供準確一致的晶圓制造結果。它具有多種功能,可確保滿足各種處理需求。光刻膠系統是生產半導體、醫療器械、微電子等廣泛應用的理想之選。
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