二手 SEMITOOL ST 860 #293604285 待售

製造商
SEMITOOL
模型
ST 860
ID: 293604285
晶圓大小: 6"
Spin Rinse Dryer (SRD), 6".
SEMITOOL ST 860是由SEMITOOL生產的光敏剝離設備。它是一種先進的半自動化儲罐系統,用於半導體制造中矽片光刻膠的帶狀和清潔。該儲罐的設計能夠高效、精確地從晶片的前後兩側剝離光致抗蝕劑。PST 860的儲罐分為三個部分:預緊力、工藝和沖洗。預負載部分用於一次加載和處理多達六個晶片。工藝部分在一個獨立的溫度範圍內運行,並包含一個專有的轉鼓模塊,用於條帶和晶圓的清潔。溫度範圍可以調整以匹配晶片材料和工藝。該沖洗站用於確保晶片在剝離過程中完全清潔。ST 860還具有可編程邏輯控制器(PLC),該控制器用戶友好,提供多種自定義程序以及數據跟蹤功能。它提供了非常精確和可重復的結果,自動化消除了對晶片手動處理的需求。該裝置使用蝕刻劑(化學品)以所需的速率溶解光致抗蝕劑。它可以處理濕蝕刻、幹後原生燕麥,以及一般的剝離應用。此外,它符合半導體行業標準,為惡劣的環境條件而設計。SEMITOOL ST 860是半導體制造過程中光刻剝離的可靠、經濟高效的解決方案。它適用於廣泛的應用程序,其自動化過程減少了人工錯誤、人工和成本,同時實現了最佳效果。該機器有SEMITOOL客戶服務和耐久性保證作為後盾。
還沒有評論