二手 SEMITOOL ST 860 #293622249 待售

SEMITOOL ST 860是一種最先進的光刻設備,旨在以最小的生產中斷提供快速、可重復和可靠的工藝結果。該系統特別適合於液晶屏和MEMS生產等高端、大批量應用以及研發項目。ST 860的基本架構包括一個雙托架自動履帶、兩個晶圓盒式磁帶、兩個托運人盒式磁帶、兩個高性能工藝室和兩個高溫平板烘烤模塊。這兩條軌道由嵌入單元中的單個微處理器控制器支持。這使操作員能夠快速、輕松地從任何標準的Web瀏覽器對機器進行編程。此外,可選的獨立熱控制工具可確保精確、可重復的熱處理結果。集成運動和驅動資產的設計為光刻應用提供了前所未有的準確性和可重復性。該模型由線性電動機、球形螺釘和線性編碼器組成，便於定位，並采用先進的步進電動機技術進行平滑速度控制。這不僅確保了可重復的過程結果,而且還減少了從開始到結束的周期時間。該設備中的兩個高性能工藝室旨在確保一致和可靠的工藝結果。這兩個腔室能夠接受三種不同尺寸的基板，並且對溫度高度不敏感，在更廣泛的工作溫度範圍內提供更一致的處理結果。兩個高溫平板烘烤模塊采用先進的溫度控制技術，以確保在被加工基板的整個表面上均勻分布溫度。此外，SEMITOOL ST 860包括可選的傳感器反饋和監控系統，允許對工藝參數和系統狀態進行連續監控。這確保了過程參數的快速和輕松調整,實際上消除了操作員錯誤的任何風險。該單元還與SEMITOOL SPTSO自動化流程軟件完全兼容,並提供廣泛的後端報告功能。ST 860設計用於潔凈室環境，按照嚴格的ISO 9001和SEMI C002標準制造。SEMITOOL ST 860以其先進的設計、堅固的構造和直觀的操作，一定能滿足要求最苛刻的光刻膠應用的需求。