二手 SEMITOOL ST-870 #9160073 待售

SEMITOOL ST-870光刻設備是一種先進的高精度晶片加工設備，設計用於晶片上的蝕刻或圖案化集成電路。它被用於先進的IC制造過程，對集成電路性能至關重要。SEMITOOL ST 870是一種考慮到靈活性和可靠性的批量加工濕化學系統.高精度和重復性使其成為先進晶圓加工的理想工具。它在一個或多個晶片上同時執行光刻和蝕刻步驟，以精確和可重復性處理它們。ST-870具有兩個5層流程站,可實現最大的流程吞吐量。雙龍門設計方便了兩臂的獨立運動，使它們能夠獨立進行晶圓處理，並在站點之間進行協調。ST 870利用垂直安裝的化學泵和分配裝置，精確應用和監測加工中使用的化學品。內置的化學管理機器確保化學品的適當計量，而不論工藝參數如何。該工具還具有可調的抗蝕劑軌跡高度，以適應更復雜的光刻處理。SEMITOOL ST-870配備了計算機控制的熱成像資產，允許在晶圓處理過程中進行精確的溫度監測和反饋控制。該模型有助於保證晶圓加工中所需的可重復性和精度。此外，SEMITOOL ST 870內置了一個化學測量設備，以便對晶圓加工過程中使用的化學品進行持續監測和優化。該系統被封閉在一個保護外殼中，以包含晶圓加工過程中可能釋放的任何氣體或空氣中的顆粒。ST-870旨在盡量減少環境汙染並遵守嚴格的監管準則。此外,該單元還配備了一個可聽警報單元,旨在提醒用戶註意任何可能的錯誤或超出流程條件。總體而言，ST 870光刻機是一種先進的晶圓加工工具，提供卓越的精度和可重復性。它靈活的體系結構和創新的特點,允許快速和準確的晶圓處理.內置的安全特性和堅固的材料使其成為先進晶圓加工的安全可靠的資產。