二手 SEMITOOL ST-870 #9188736 待售

SEMITOOL ST-870是一款創新的光刻膠設備,可為大容量光刻膠應用提供卓越的性能。這種精密設計的半自動系統利用直接驅動主軸和卓越的對準能力來精確地操縱晶片以獲得精確可重復的工藝結果。SEMITOOL ST 870提供了廣泛的功能,例如自動旋轉速度控制、先進的邊緣夾持板、可堆疊的過程盒式磁帶、四口袋和雙通道化學分布等,從而改進了對旋轉速度、流體輸送和基板處理的控制。ST-870配備了晶片邊緣清潔裝置，提供令人難以置信的清潔基板，使質量更好的光刻效果。為了實現更好的基板對準，ST 870部署激光對準技術和一個板載非接觸邊緣傳感器，準確識別晶圓邊緣。這臺機器還設有一個微型Rinser站，在該站分配液體顯影劑，然後將其拆除，以增強光刻膠的覆蓋率。Photoresist Tool提供了多種工藝盒式磁帶、晶片邊緣處理技術和工具,以優化光刻膠的覆蓋範圍並減輕工藝的可變性。SEMITOOL ST-870還擁有一個噴霧沖洗站，可在旋轉基板上方0至300毫米處進行調節，以實現完全的沖洗覆蓋，而無需對卡帶進行沖洗。此外，該資產還配備了一個自動曝光控制模型和一個多激光瞄準設備，以確保對每個目標采用一致的曝光工具。SEMITOOL ST 870還配備了一套安全功能，如引擎蓋外殼、聯鎖門、反向壓力控制和地板平整器，以提供額外的安全性，以及帶有視覺警報和電子架構的故障安全系統，以管理預防性維護警報。ST-870 Photoresist Unit是一種多功能工具,旨在滿足大批量生產環境的特定需求。這臺機器具有多種復雜的特性，高效可靠地加工光刻膠，獲得了非常可靠的結果。