二手 SEMITOOL STI 260D #123183 待售

SEMITOOL STI 260D是一種化學蝕刻設備，設計用於光刻加工和小批量生產應用。該系統主要用於蝕刻和化學工藝，如RIE（反應性離子蝕刻）和CMP（化學機械平面化），可處理各種尺寸和類型的基板。它能夠處理直徑達300毫米、最大蝕刻速率高達1毫米/分鐘的基板，並能處理各種光刻膠成分。STI 260D包括一個機械堅固的全鋁真空室和一個內置的溫度控制的背面冷卻劑水龍頭。該單元具有快速鎖定、多面電極組件，允許快速、方便的電極交換，而無需打開腔室。三軸直線驅動電極機可以精確控制電極,最大限度地減少材料侵蝕,並提供出色的蝕刻均勻性。腔室還被可選的法拉第板密封，最大程度地減少了電荷累積，減少了模式失真，提高了蝕刻均勻性。SEMITOOL STI 260D的功能通過高級流程控制工具進一步增強,該工具提供了一系列功能,包括直觀的用戶界面、對流程參數的實時監控以及多程序內存資產,使操作員能夠存儲和召回特定的流程配置文件,以最大限度地提高吞吐量和效率。該模型提供了直觀的過程-配方編程和可視化處理驗證,允許用戶實時監控蝕刻材料的進度和質量。STI 260D是一種高效可靠的光敏處理設備,具有符合低批量生產和研發要求的經濟高效設計。該系統配有綜合安全單元，可保護用戶、操作員和流程環境，可提供高效、一致的效果，周轉時間快。