二手 SEMITOOL STI 260D #9206432 待售

SEMITOOL STI 260D是一種光刻設備，設計用於光刻工藝。它是一個兩室垂直濕蝕刻處理器，容量高達200mm2。該系統配有浸入式微真空攪拌裝置（SMVAS），以確保光刻膠在蝕刻過程中的均勻溶解。SMVAS波以4 Hz的頻率和25mm的波高穿過蝕刻室，導致感光層的溶解高度均勻。處理器的潛入式微真空攪拌機允許使用各種蝕刻工藝，如氯基蝕刻、氨基蝕刻、濕蝕刻磷酸和臭氧蝕刻。此外,SMVAS旨在減少許多蝕刻過程中通常遇到的背面蝕刻。這使得它非常適合用於高分辨率應用程序。處理器配備了5步控制器,並安裝在標準的19英寸10U機架式機箱中。5步控制器是一款先進的計算機控制過程控制器，提供了當今現代光刻生產所需的易於使用、準確、可靠的過程控制。每個步驟的控制都是使用直觀的軟件界面獨立實現的。這為當今最先進的光刻應用提供了高水平的重復性和準確性。處理器的基板支架最多可容納200毫米2,因此非常適合生產批次大於實驗室中通常看到的批次。此外，蝕刻劑的溫度可以手動調節，也可以由控制器調節，達到最佳效果。該工具還具有安全功能，可以在氣體、溶劑和蝕刻化學品成為危險之前自動將其關閉。STI 260D是任何光刻工藝的絕佳選擇。它的五步控制器和SMVAS實現了準確、可靠和可重復的過程控制,同時其安全功能確保了安全高效的工作場所。該資產非常適合200 mm2或更少的生產批次,並安裝在標準的19英寸10U機箱中。