二手 SEMITOOL STI 860 #293757364 待售

SEMITOOL STI 860是為半導體工業應用而設計的先進光刻加工設備。該系統包括用於光刻加工和開發的硬件平臺和軟件組件，為用戶提供用於制備用於光刻的基板和光掩模的綜合解決方案。STI 860由濕板凳、軌道和各種配置的光刻模塊（螺旋或線性）組成。濕式工作臺是一種不銹鋼工作面，有排水和沖洗位置，用於加工和開發光掩模。此外，長凳還包括一條排出化學煙霧氣氛的通風管。軌道容納模塊，每個模塊包括一個光刻膠模塊、一個顯影劑模塊和一個幹燥站。光致抗蝕劑模塊由一個自旋卡盤、一個底物定心站和一個裝有光致蝕劑溶液的儲罐組成。開發者模塊裝有自旋卡盤、開發者溶液罐和幹燥站。幹燥站可以調整，以允許不同的基材類型和配置。SEMITOOL STI 860設計具有許多功能,可提供安全高效的光刻處理體驗。該機組配有晶片送料機、載波裝載機、晶片卸載機，以減少處理時間，提高機器吞吐量。此外，該工具還配備了背面汙染控制和基板完整性檢查站，以確保適當處理基板。STI 860是半導體行業可靠可靠的光敏處理資產。該模型具有廣泛的特點，可確保快速、安全的光刻工藝。該設備非常適合光掩碼開發、晶圓缺陷檢測、光刻等應用。