二手 SEMITOOL STI 860 #9012259 待售

SEMITOOL STI 860光刻設備是一款功能強大、可靠且高度先進的機器，旨在滿足現代半導體行業的需求。該系統在手動和自動晶圓處理應用程序中均具有極好的一致性和可重復性。該裝置設計用於所有類型的光刻工藝，包括抗旋塗層、曝光後烘烤、顯影和蝕刻步驟。STI 860內置了用於處理晶圓、掩模和吊艙等基材的控件。SEMITOOL STI 860機采用六站式炮塔設計，通過前後兩側為基板的裝卸提供了極好的可及性。STI 860的腔室設計在整個晶片表面提供均勻的交聯抗蝕劑流動方面也非常高效。前體輸送工具具有機械臂和流動分布資產，可確保光刻膠在旋轉應用過程中的精確均勻分布。SEMITOOL STI 860設備中還包括一個先進的Resist Spin Dryer模型，確保均勻幹燥和排除有害的環境汙染物。精密的載荷板設計使晶片在自旋塗層過程中能夠精確定位，並允許均勻的抗蝕性厚度和均勻性。通過包括重型電機，提高了機器的耐用性，提供精確的流體運動控制。STI 860還配備了由隔熱玻璃組成的大型觀景窗，讓用戶更好地監控內部過程的進展。此外,自動控制系統非常方便用戶,操作簡單。SEMITOOL STI 860憑借其高性能、可靠性和自動化，是半導體行業的絕佳選擇。高度先進的設備可提供高效的解決方案,滿足各種光刻需求,並可輕松集成到大多數現代半導體制造過程中。STI 860也是晶圓制造和抗加工的絕佳選擇，提供準確、可重復和均勻的結果。