二手 SEMITOOL STI 860 #9395485 待售
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SEMITOOL STI 860是一個光刻設備，設計方便晶圓處理先進的微電子。該系統的自動化解決方案化學,提供浸入、噴霧和循環時間用戶選項,以提供一致、可靠的抗稀釋效果,從而獲得最佳光刻效果。該裝置采用密封環境，以減少空氣中顆粒的暴露，並采用直接帶狀加熱機和底部加熱器輸送機，以確保均勻加熱和一致潤濕。定制噴嘴設計在晶片表面上提供精確、一致的分布,不會過度噴塗,而晶片周圍薄薄、低速的溶劑窗簾可通過精確的溫度控制有效地去除光致抗蝕劑。觸摸屏界面為用戶提供了該工具操作的圖形概述,使用戶能夠輕松訪問設置並跟蹤流程步驟。此外,該資產還具有直觀的安裝向導,可為不熟悉該模型的用戶提供分步說明。STI 860的專利工藝技術允許用戶定制循環參數以匹配每種單獨的光刻膠的性能。該設備還具有可選的側壁保護功能,可在曝光後烘烤和浸入階段提供卓越的光阻保護,從而提高晶圓產量。SEMITOOL STI 860提供高達每小時60個晶圓的高吞吐量，允許用戶在不犧牲質量或周期可重復性的情況下減少周期時間。此外，自動化系統消除了人工清洗，減少了汙染風險，並確保每次均勻的結果。
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