二手 SEMITOOL STI 870D #9307758 待售

SEMITOOL STI 870D是一種光阻設備，設計用於實現微電子封裝、變薄和晶圓級MEMS/NEMS。它為基材處理、光刻加工和微加工提供了一個集成、高質量、經濟高效的平臺。該系統由幾個部件組成，包括一個濕站、預清室、預烘烤室、微制成室、計量單元。濕式站用於在基板表面塗抹薄膜和液體光致抗蝕劑，允許精確的基板對準和沈積。預清潔室使用化學物質和機械磨損的組合來去除基板上的任何表面汙染物。然後，預烤室使用化學氣相沈積技術蒸發基板上任何剩余的有機材料。然後，微型制造室使用高功率激光將光刻膠繪制成數百萬個單獨的電路特征。最後，計量機測量電路特性的精度和分辨率。該工具設計為符合半導體行業要求,能夠重現復雜的形狀、顯著的特征大小差異和強烈的幾何精度。科技創新870D超過了電子電子微制造工藝的效率、上市時間和成本控制。它擁有一套全面的資產監控和過程控制軟件，為工程師提供實時數據，以作出有教養的決策。該模型維護程度低，成本低，易於修改以處理不同的基板和特征尺寸。設備也極為精確和可重復，非常適合大批量生產。總體而言，SEMITOOL STI 870D是一種先進的光阻系統，旨在實現高效、經濟高效的微電子封裝和制造。它為基板材料處理、光刻加工和微制造提供了一個集成平臺，為工程師提供高分辨率的圖樣和幾何精度。