二手 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07 #9308550 待售

SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07是一種領先的光刻設備，用於在各種基板上的光刻應用。光刻涉及將基板暴露於光，以便創建圖像、圖樣或結構，用於半導體和其他微電子制造。SEMITOOL SRD 07設計用於此過程,提供可靠、精確且經濟的系統。VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07具有在整個運動範圍內精確到不到一微米的基板定位單元。它還包含一個雙光束激光對準機，由兩個在XY平面上布置的激光束源組成，確保基板的高度精確配準，以確保精確的圖樣形成。激光隨後通過可變狹縫面罩，實現抗蝕層的曝光。此外，SRD 07由於其高速晶圓運輸工具和高容量的抵抗罐，提供了優越的模式能力。抵抗罐能夠容納直徑達8英寸的晶片，允許大量生產許多基材。此外，晶圓傳輸資產在對準基板時提供了更高的穩定性和準確性。SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07包含精密的光刻能力，提供高分辨率的圖樣和優異的特徵保真度。這是通過先進的光束光學模型實現的，該模型由線掃描電子束組成，減少了曝光時間，提高了特征尺寸的精度。最後,SEMITOOL SRD 07提供自動對準功能,確保每次都能準確放置基板。此功能對大批量生產過程非常有利,因為它減少了人為錯誤並提高了生產率。簡而言之，來自SEMITOOL的VERSATILE TECHNOLOGIES SRD 07光刻設備是一個功能強大、靈活的光刻應用系統。其精確度、精確度和自動化程度使其成為微電子元件生產中的理想選擇。