二手 SEMITOOL / VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870 #9265365 待售

SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870是一種光阻設備,專為多級、MEMS、MCM和其他先進半導體器件的大批量生產而設計。該系統具有高效的液相和氣相處理層流工藝規範。這允許精確的膠片覆蓋和過程重復。此外,SEMITOOL ST-870還具有多區域射頻偏置板。該壓板提供快速的熱處理，在滿足嚴格的處理需求的同時，允許可靠和可重復的過程。該單位配備了一個綜合數據管理機器，能夠快速和方便地跟蹤和報告數據。VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870有多種工藝室，包括預清潔室、抗剝離室、溶劑剝離室和自旋塗層室。這使得該工具能夠處理各種光刻膠應用。該資產還設有一個現場計量室，可進行層厚度測量、層輪廓測量和缺陷分析的一般檢查。該模型利用全球控制的計算機網絡進行過程控制和數據分析。這提供了復雜的過程控制和分析功能。用戶友好的觸摸屏界面易於操作和配置。ST-870的整體熱流狀況高達900°C，適合各種材料。該設備還具有一系列定制功能，包括工藝數據跟蹤系統、多區域加熱板以及晶圓和載波的自動化管理。綜上所述，SEMITOOL/VERSATILE TECHNOLOGIES ST-870是為生產多級、MEMS、MCM和其他先進半導體器件而設計的先進光刻裝置。它具有高效率的層流處理和各種工藝室，包括預清潔室、抗剝離室、自旋塗層室和原位計量室。該機配備了用於過程控制和數據分析的網絡化計算機控件。此外,該工具還提供了一系列自定義功能,包括流程數據跟蹤資產、多區域加熱平臺以及晶圓和載波的自動化管理。