二手 SEMITOOL WSST-408A #9401359 待售

SEMITOOL WSST-408A光刻設備是一種全自動的單晶片濕條系統。該裝置設計用於在可控大氣中從單個晶片中剝離光致抗蝕劑，使用可編程和過程控制的剝離溶液。該機最多可處理400mm晶片，尺寸包括8.12，或15英寸（200,300，或350mm）。該工具包括一個儲罐，可容納40升剝離溶液和一個溫控計量泵，有四個通道和五個攪拌磁鐵。化學劑量由數字泵控制器精確控制，而可編程控制器則管理程序步驟。不銹鋼反應室設有四個濃縮艙壁和一個P21的空氣流通資產，以及一個紫外線/臭氧燈和氣體噴射系統。自動晶片處理模型將晶片送入和送出反應室。該設備還配備了TurboX真空泵，用於自動排出液體和氣體。WSST-408A可以用多種溶液剝離光致抗蝕劑，如鹽酸、硫酸、氫氧化銨、過硫酸鉀和過氧化氫。它還能夠在高達60°C的溫度下剝離晶片，從而獲得更高程度的晶片表面清潔度和更大的剝離更困難的抗蝕劑的能力。最終結果是均勻性更高，產量增加，吞吐量更大。該系統是為流程靈活性而設計的，具有簡單的軟件用戶界面，使操作員能夠調整參數以改變流程條件。SEMITOOL WSST-408A單元具有廣泛的特點，使其成為高產光刻膠剝離工藝的理想選擇。