二手 SEMITOOL WSST-608-AG #9410291 待售
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ID: 9410291
晶圓大小: 6"
Wet strip system, 6"
Chemical liquid supplying unit
Chemical liquid recovering unit
(2) Automatic carbon dioxide systems
Pure water unit
(2) Fire dampers
Accessories.
SEMITOOL WSST-608-AG是一種光刻設備,由多個部件組成,這些部件協同工作以創建高精度的光學元件,用於半導體工藝。該系統由自動化平臺、軟件和過程控制組件組成，提供了一套集成的光刻解決方案。光刻的核心是刀頭。這是處理晶片的主要工具，負責圖像的投影和對齊。WSST-608-AG具有基於MEMS的投影工具頭,可生成高達0.2微米圖像分辨率的自定義圖像。它還具有高級對齊功能,例如完整的線性和傾斜調整範圍,這有助於確保模式的精確對齊。該裝置還采用兩階段烘烤工藝，以確保光刻膠的完整性。加熱爐提供溫柔和更強烈的加熱，這取決於應用。它還使用機器人晶片處理，以確保晶片的處理謹慎和準確。SEMITOOL WSST-608-AG包括允許用戶創建和自定義工作流、優化光刻設置和監控過程結果的軟件。該軟件包括多種選項，允許用戶創建自定義配方和設置，以滿足其應用程序的獨特需求。它還包括一個常用設置的庫，允許用戶快速、輕松地自定義進程設置。軟件提供了圖形用戶界面,使調整和監視設置變得更加容易。最後,機器具有多個過程控制組件,包括控制器、顯示器和傳感器。工藝控制器為工具提供精確控制,確保每一層都能精確地處理。該資產還配備了聲學信號監控設備，有助於檢測任何異常或模型錯誤。這樣可以確保設備處於最佳狀態。總之，WSST-608-AG光刻膠系統被設計為高精度光學元件的完整解決方案，如半導體工藝中使用的光學元件。它具有堅固的基於MEMS的投影單元、高級對齊功能、兩級烤箱、自動晶圓處理以及隨附的軟件套件。這臺機器為用戶提供了一個集成的解決方案，以確保準確性和可重復性。
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