二手 SEMITOOL WSST-805A #9270149 待售

SEMITOOL WSST-805A光電抗蝕劑設備是一種先進的晶片自旋塗層和開發技術，為高質量的薄膜介電層提供可靠的沈積和處理。該系統采用晶圓技術，與鋁、銅、陶瓷、矽、石英等多種常見基板兼容。它專門設計用於處理直徑最大為8英寸的晶片,並在晶片的整個表面實現均勻覆蓋。該單元具有氣動操作的卡盤，可容納直徑達8英寸的晶片，並以最大450 rpm的自旋速度運行。它還包括0-50赫茲轉速範圍的晶圓電機。對於均勻的晶片覆蓋,機器具有可自動調節的旋轉斜坡速率,可以設置該速率以實現每種基板的最佳塗層厚度。該工具還配備了有助於確保薄膜沈積均勻性的沖洗資產。該模型使用抗蝕劑罐進行光刻和顯影劑的交付。將抗蝕劑罐加熱至最佳溫度,以便在加工過程中達到最大均勻性。加熱用熱電偶完成，由溫度控制的加熱器控制。溫度控制在不同的加工溫度範圍內是可調整的，這取決於抗蝕劑的類型。定時裝置允許操作員設置設備，以預編程間隔傳送所需的光刻膠量。該裝置還具有監測光刻膠濃度並相應調整電平的能力。該系統旨在確保每個處理步驟均具有準確、可重復的薄膜均勻性。該單元還包括一個閉環反饋回路，可以檢測過程條件的變化並調整機器以保持一致的處理。WSST-805A光敏工具是為現代半導體制造而設計的，在薄膜介電層沈積中具有較高的可靠性和精確度。它與多種常見的基材兼容，可用於加工直徑達8英寸的晶片。它還配備了加熱設備和定時裝置，以確保所需的光致抗蝕劑濃度和薄膜沈積的均勻性。該模型還配備了一個閉環反饋回路，該回路設計用於監控和調整過程條件，以確保批次之間的性能一致。