二手 SEMITOOL WSST #9097196 待售

SEMITOOL WSST是一種先進的光阻設備，利用紫外線激光技術在半導體材料上創建圖樣。該系統旨在以可靠的一致性和準確性提供可重復的長期結果。該單元由兩個主要組件組成-激光源和級。裝有聲光調制器（AOM）的紫外線激光源控制激光功率。這提供了對陣列區域的精確控制,從而實現了高分辨率特征清晰度。此外,控制器還具有許多可調參數,可讓操作員調整強度、頻率和脈沖持續時間。舞臺是機器的核心；它由三個獨立的組件組成-基板支架、液晶監視器和曝光映射工具。基板支架支持直徑最大為6英寸的基板，允許在單個批次中對基板進行多重抗性圖樣化。液晶監視器允許對基板進行精確定位，使操作員能夠將激光束與圖案區域精確對齊。曝光映射資產在陣列繪制過程中測量曝光地圖，以便操作員能夠確保所需的圖案正確曝光。該模型還包括一個基於Web的GUI,以便於操作。界面允許用戶配置激光功率、脈沖數和曝光時間等設置。此外，GUI還提供有關設備現狀的實時反饋，包括圖樣制作進度和基板溫度。綜上所述，WSST是一種高精度的光刻系統，能夠對各種半導體材料進行可靠的陣列。該單元具有直觀的基於Web的GUI和先進的激光技術,可精確控制陣列制作過程。