二手 SEMITOOL WSST #9097197 待售

SEMITOOL WSST是一套光刻加工系統,旨在滿足廣泛的光刻要求。該設備由三個主要部件組成：主加工室、負載鎖定室和浴缸。主室設計用於半導體制造過程中光刻塗層的沈積、蝕刻和清洗。它配備了用於高速真空抽水的渦輪泵，具有支持廣泛過程、溫度和壓力的能力。負載鎖定室用於在進入主室之前將預處理過的晶片轉移到惰性大氣中。該腔室還用作保持主腔室內部最佳真空條件的緩沖器。浴缸模塊是一種低壓噴霧系統，用於清洗加工步驟之間的晶片，在高級應用中也可用於軌道清潔和錫塗層。該單元進一步配備了兩個獨立的計算機控制器，以監控和控制過程參數。控制器與主腔室、負載鎖腔室和浴缸連接,可訪問各種參數設置,包括腔室溫度、氣流和處理時間。控制器還配備了等離子體點火系統，提供全面的數據記錄、故障記錄以及過程參數的實時顯示。WSST為各種半導體元件和應用提供可靠、經濟高效的光刻和光刻處理解決方案。它配備了創新的過程管理和控制系統，為光刻沈積、蝕刻和清潔提供可重復、統一的結果，以及復雜的性能監測和故障診斷程序。該機設計具有優異的柔韌性，在嚴密的過程控制下保證了最優的光刻性能。