二手 SEMITOOL WSST #9097198 待售

SEMITOOL WSST
製造商
SEMITOOL
模型
WSST
ID: 9097198
晶圓大小: 8"
Wet strip system, 8".
SEMITOOL WSST是一種設計用於半導體晶圓的光阻設備。該系統是建立在一個垂直的概念,使開發者能夠快速和精確地應用光致抗蝕劑,開發和清潔晶片。該單元是為滿足光刻的高吞吐量需求而設計的,使晶片能夠通過機器前部裝卸。裝載站配有機械臂,可控制地分配光刻膠。機械臂連接到SEMITOOL晶片跟蹤工具,為晶片提供精確的對準和精確的定位。一旦光致抗蝕劑沈積,晶片就會到達顯影站。該資產能夠在晶圓上提供統一的發展時間和溫度,從而提高精度和可靠性。顯影劑含有流化床噴塗顯影劑,使顯影劑具有極好的均勻性。該模型還包括現場化學庫存設備,以提高效率和便利性。一旦光致抗蝕劑被開發出來,晶片就會到達清潔站。該站配有微濾系統,提供一個防止晶圓汙染的清潔環境。微濾裝置能夠清除空氣中的顆粒和潔凈室汙染物,包括離子、灰塵和其他汙染物。WSST是一種可靠高效的光刻機床,能夠以極高的精度和精確度發展晶片。該工具的垂直概念允許快速加載和卸載晶片,並提供統一的顯影時間和溫度。微濾資產確保每個晶片保持清潔環境,機械臂確保精確和精確的光刻沈積。因此,SEMITOOL WSST是半導體行業研究人員和開發人員必不可少的設備。
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