二手 SEMITOOL WSST #9146530 待售

SEMITOOL WSST是一種革命性的光阻設備,它使光掩碼的開發具有比以往更高的分辨率和更高的精度。該系統由一系列機械和光學元件組成，它們協同工作，在光掩模上創建圖像，精度高達1.0微米。WSST單元由兩個主要組件組成。第一種是自旋夾具周期主軸，它為光掩模提供了精確控制的環境。第二個組成部分是強大的光學器件，產生高度均勻和局部化的電磁（EM）能量，用於開發光掩模。自旋夾具周期主軸為光掩模過程提供了最佳環境。它們可以旋轉並鎖定到任何所需的配置中，因此可以精確調整與光掩碼處理相關的所有參數。主軸還具有溫度傳感器，能夠精確控制主軸的速度和方向。強大的光學器件產生均勻的局部電磁能量，用於開發光掩模。這種EM能量是由一系列激光器和激光二極管產生的，可以被定向到光掩模上的任意一點。該機還配備了真空工具，可用來確保面罩均勻暴露出均勻的EM能量。一旦EM能量被引導到光掩碼，它通過蝕刻掉蒙版的部分被轉換成圖樣。這一過程由另一組精確的光學器件控制，這些光學器件用低功率激光掃描光掩模，並檢測將被蝕刻掉的圖樣。一旦檢測到圖樣,確定的圖樣將被蝕刻到光掩碼中。此過程非常精確,可以創建分辨率高達1.0微米的patter。除了強大的光學和主軸外,SEMITOOL WSST資產還具有多種其他組件,可確保精確的成像過程。其中包括超聲波調節器、自動校準模型、自動對焦設備和故障安全系統。因此,WSST為創建光掩碼提供了革命性的解決方案。該單元提供了無與倫比的精度和精確度,並且可以創建分辨率高達1.0微米的陣列。這臺機器非常方便用戶，可由一個操作員輕松操作。它是任何組織依靠精確和準確的照片掩碼的寶貴工具。