二手 SEMITOOL WSST #9400944 待售

SEMITOOL WSST是一款由SEMITOOL inc.設計制造，於2000年發布的光阻設備。它是一個自動化的亞微米光刻系統，具有各種不同的光刻膠和特性。該設備采用可編程掃描儀，可容納多達28個12英寸和6個系統的基板，其速度是SEMITOOL以前的光刻平臺WFST的兩倍。這臺機器涵蓋了從晶圓清洗到濕法/幹法蝕刻和光刻膠帶的一系列應用。各向異性等離子體蝕刻提供了較高的層選擇性，先進的3D懸浮技術即使使用凹面或非平面基板也能實現均勻的薄膜厚度。WSST針對接觸面修復、多層絕緣蝕刻和背面直接成像等線路後端工藝進行了優化。除了SEMITOOL提供的高標準可靠性之外,它還支持增加額外的性能。它的部件是完全的空氣軸承閉合力學，它提供了最小的振動，以確保平衡的熱環境，高效的操作和卓越的可靠性。此外,SEMITOOL還包括集成選項,如高電流光刻膠應用程序和獨特的高清掃描功能。它可容納一系列不同的解決方案,如用於單個基板生產的附加軌跡輸出/軌跡輸入（T/T）工具,以及用於弓形、角形和全局溫度漂移的集成補償的可選事務性產品通道（TPL）。此外，SEMITOOL WSST設計用於I類潔凈室環境，最高溫度為135攝氏度，最大光敏厚度為3500埃。它的尺寸與自動化的工藝材料、計算機控制和安全的前後緊湊設計相集成,該設計安裝了標準的25英尺長的負載鎖和無塵的氮氣環境,以確保原始的清潔度。WSST光刻膠資產提供了無需人工幹預即可處理其全部光刻膠產品、接觸面膜和MOEMS的能力。它提供了多種功能來滿足特定的流程要求,且開銷更低。其特點和應用範圍使其成為任何亞微米光刻工藝的理想選擇。