二手 SEMITOOL WST 172 #142238 待售

SEMITOOL WST 172光刻設備是一種最適合半導體/MEMS晶圓加工的自動噴塗系統。它具有高度的可配置性，並支持多種化學方法，具有研制厚度範圍為0.1-4 μ m、均勻度為3-4%的塗層的能力。該單元一次最多可處理八個晶片，並設計有一個平臺，可與多種工藝模塊配合使用，包括預清潔、噴塗塗層、顯影劑和洗滌器。該機采用集成直產噴嘴分配歧管工具，以高分辨率生成均勻塗層厚度。主機裝有機器人端效應器（Robot End Effector，REE）、噴霧噴嘴、執行器和傳感器。噴嘴可調節，便於控制液滴尺寸、噴霧角度和噴霧壓力，以及噴霧圖樣的定位。REE是機械驅動的,提供可調節的廣播配置,以實現最佳的噴霧均勻性。氣溶膠以受控的方式均勻分布，以確保準確、一致和可重復的塗層結果。WST 172具有集成的雙壓板旋轉功能,可對齊兩個或多個用於塗層的晶片,每個晶片的加工時間約為15分鐘。其他特點包括用於產生精確模式的高級模式控制、可編程噴霧速率的多步調整、用於驗證塗層的顆粒監測資產以及用於過程中惰性和受控環境陰影的氮模塊。該模型有一個專用的用戶界面以及在此過程中出現的任何問題的警報。該設備以低溫噴霧工藝運行，使其適合與各種基材一起使用，包括塑料、玻璃和GaAs。噴霧工藝有助於減少有害的有機溶劑，從而降低災害風險，防止不必要的損害。SEMITOOL WST 172還能夠與其他SEMITOOL機器協調，從而實現更快、更高效的流程。總體而言，WST 172光刻膠系統具有很高的精度和可重復性，適用於從單晶片到大規模加工的應用。該裝置確保了高度的均勻性，改進了工藝控制，減少了浪費，使其成為半導體和微加工應用的理想選擇。