二手 SEMITOOL WST-305MP #9109522 待售
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ID: 9109522
Wafer mask cleaning system
Water soluble develop strip tool
Computerized programmable interface
Computer:
Optiplex GN+ 5200M EM
Pentium/MMX 200MHz
64MB RAM (EDO)
3.2GB HDD
CD-ROM
1.44MB Floppy
14" Amdek AM/432N Amber monochrome VGA monitor, p/n: 901189-02 with severe screen burn.
208 VAC, 50 / 60 Hz, 30 Amps.
SEMITOOL WST-305MP是用於光刻的光刻工具.它是一種先進的濕式工作臺設備，設計用於處理最新的高精度光掩模和濕式工作臺部件。該系統具有全自動傳輸機制,可提供精確的樣品放置和定向功能。此外，它還有一個高精度的雙畫框掩模站，以確保統一的處理結果。WST-305MP還有一個先進的舞臺控制單元，可以提高光刻應用的準確性和可重復性。該機器的主要用途是開發用於生產半導體器件和集成電路的光刻膠。SEMITOOL WST-305MP利用熱處理模塊來減少開發時間,並且機器能夠執行復雜的圖樣化基板過程,如雙級曝光。過程中使用的受控曝光紫外線輻射由多場固態紫外線激光器產生。該工具配備了一套高級流程控制選項,可提供用戶實時流程監控、可追蹤性和反饋功能。這包括開發單層和雙層抗蝕層的選項，以及液態光刻沈積和等離子體蝕刻的控制選項。嚴謹的過程控制資產也保證了光刻膠開發的可重復性和均勻性。WST-305MP還配備了一個復雜的控制器/軟件模型，可以對其進行編程以執行一系列用戶定義的進程設置。它還具有嵌入式診斷和維護警報,可以提醒用戶潛在的計算機和組件風險。SEMITOOL WST-305MP是一種功能強大且用途廣泛的光刻設備,能夠高效可靠地處理光掩模和基板。它是開發先進的半導體和IC器件光刻層的理想選擇。系統直觀的用戶界面和廣泛的過程控制選項可提高生產率並提高產量。
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