二手 SEMITOOL WST-306 #9379931 待售

SEMITOOL WST-306是一種光刻剝離設備,用於從基材中剝離和清潔光刻膠.其工作原理是將氫氧化鈉和超聲波註入腔內。該系統通常用於半導體制造中光刻膠的剝離和清洗。WST-306具有一個可加熱至108 °C的開放式工作室，可進行加熱化學浴和湍流空化。機組設有三個通道，每個通道用於不同的溫度和操作模式。該機還有一個壓力表，設計用於進行空腔加壓和降壓與精確控制。壓力表用於在抗蝕帶過程中保持指定的壓力水平。SEMITOOL WST-306可以容納直徑不超過200 mm的各種尺寸的光刻膠基板。它還與多種光刻膠類型兼容，包括AZ-、SU8-和ArF-光刻膠。該工具包括一個提供平滑機械升力運動的精密旋轉升力平臺，可以消除對細膩基板的損壞。升降機平臺便於進入室內進行清潔和維護。資產可以手動操作,也可以通過自動程序序列操作。在手動模式下,用戶可以從各種預先配置的循環參數中進行選擇。它還具有可編程周期存儲選項,允許存儲和召回多達8個用戶定義的進程配置文件,以便以後執行。WST-306非常適合從半導體基板中剝離和清潔光刻膠的應用。它是高效可靠的，允許一個一致和可重復的過程。該設備還需要最低限度的維護,使其更具成本效益。