二手 SEMITOOL WST-306MG #9014933 待售

SEMITOOL WST-306MG是為高性能晶圓處理而設計的光刻設備。該系統非常適合為高級設備應用創建納米級結構。它具有一個可容納6英寸晶片的自動裝載裝置以及一個用於精確溫度控制的可編程加熱器/冷卻劑機器。光致抗蝕劑工具還包括一個可控的大氣，以防止加工過程中的氧化。WST-306MG包括用於精確處理光刻塗層晶片的幾個先進功能。它有三個級別的自動化光學器件來確定每個圖樣在晶圓上的精確焦點。精密基板表允許在加工之前對齊光刻塗層晶片。這種對齊方式對於大面積薄膜很重要，以防止曝光時模式失真。此外，可以在處理過程中自動調整焦點和舞臺位置。SEMITOOL WST-306MG利用精密步進電機將晶片在預定的步長移動到要暴露的區域。此外，它還擁有高長寬比照明資產，可用於材料的三維結構。該模型旨在與標準CAD系統集成,以便進行簡單的模式傳輸。光敏設備設計可靠，性能一致。它具有堅固的無振動剛度,可確保整個過程中的最佳對齊方式。其亞環境幹燥處理能力保證了光刻膜的高質量應用。而且，其用戶友好的界面使得操作簡單高效。WST-306MG最終非常適合於納米級研究應用,例如光掩模制造、半導體器件制造、光刻掩模制造、薄膜沈積和光學元件生產等應用。其先進的光學和受控環境允許精確和精確的處理來創建納米級結構。這些納米結構隨後可用於先進設備和產品的開發。