二手 SEMITOOL WST-306MI #137518 待售

SEMITOOL WST-306MI是設計用於大容量光刻生產的先進光刻設備。WST-306MI具有先進的堅固設計,能夠支撐300 mm晶片,溫度精度和可重復性為0.1°C。該系統由濕式臺階和無菌傳輸處理器（ATP）組成，用於處理光刻膠和其他液體。SEMITOOL WST-306MI具有集成的輸送機,可有效進出工件,包括基板托架和前緣移除夾具。此外，該裝置還設計了多種通風選項，以最大限度地提高化學壽命，例如碳基過濾器、光化學處理系統和直列式脫氣過濾器。WST-306MI支持正負光抗蝕劑、剝離、開發、模板化和掩蔽濕化學品和顯影劑氣體等應用。它具有智能用戶界面，允許操作員使用預定義的程序或用戶定義的配方運行序列。SEMITOOL WST-306MI還提供標準的潔凈室接口,並可以通過其集成的監控單元進行遠程監控。WST-306MI提供了一個5步光刻膠工藝模塊，包括預烤、後烘烤、曝光後烘烤、帶狀後烘烤和去除後烘烤過程。它還包括基板傳輸槽內的溫度傳感器監控和工藝櫃的內部傳感器監控。總體而言，SEMITOOL WST-306MI是一臺先進的光刻機，具有高效的工作流程，能夠可靠地處理不同的光刻膠、化學品和顯影劑氣體。其自動化的處理順序、用戶友好的界面和集成的監控可以帶來優異的效果和高效的操作。該工具適用於半導體和光電工業中的大容量應用。