二手 SEMITOOL WST-306MI #81412 待售

SEMITOOL WST-306MI Photoresist Equipment是一種設計用於在基板上對光刻材料進行高精度圖案化的系統。這一單元非常適合在半導體和微電子工業中的應用，在這些工業中，精確度和精確度是最重要的。WST-306MI是一種具有投影對齊器（PA）的單室工具,它支持晶圓和掩碼交換,並且可以對300 mm晶圓執行精確對齊的陰影成像。該機器還有一個綜合汙染監測工具（CMS），它允許在工藝室內進行顆粒監測和清潔傳感器，以加強清潔和衛生。此外，該資產還支持深層紫外線、i線和深層紫外線/i線光致抗蝕劑工藝。SEMITOOL WST-306MI的工藝室配有統一的低壓無化學（ULPCF）散裝燈和石英陶瓷光刻塗層。均勻低壓無化學物質（ULPCF）散裝燈設計為在基板上提供均勻的紫外線和深紫外線圖樣，以及對光的位置和強度的精確控制。石英陶瓷光刻塗料采用集成的加熱器、微泵和風扇，以確保均勻分布的抗蝕塗料，這對於精確的結果至關重要。集成的溫度和流動傳感器能夠準確控制光敏材料的溫度和粘度。WST-306MI還支持各種特殊的光刻膠工藝，包括正紫外線、負紫外線、兩層光刻膠和單層光刻膠。它還預配置了一個特殊的熱控制包,可確保在所有溫度下均勻抵抗模式。該模型與大多數類型的感光材料兼容，並具有直觀的軟件界面，可以輕松設置、監控和控制過程。SEMITOOL WST-306MI提供了可靠、高效、精確的光刻膠圖樣制作工藝，在工業應用中尤其有益。過程的準確性和均勻性是首屈一指的，而簡單的設置和直觀的操作使得它適合高通量的應用。這種設備是要求最苛刻的光刻膠圖案應用的理想選擇。