二手 SEMITOOL WST-308 #9155122 待售
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SEMITOOL WST-308是一種高精度的光刻設備,可用於創建精密的光刻蒙版,用於各種工業和電子應用。該系統具有大小型功能的內置精度和可重復性。SEMITOOL WST 308具有用於所有操作過程的伺服控制精度x、y和z軸。該單元可以使用正向或負向光刻膠，以及用於多層地層的較軟的抗蝕劑。該機器能夠在不依賴離心力的情況下提起、旋轉和放置所有類型的基板。兩個註射器泵為分配液體和基於泥漿的光刻劑提供精確和可控的物料流動。泵是可調的，以適應不同的粘度水平和方便和安全操作。該工具針對旋轉旋轉應用進行了優化，以最大限度地擴大光刻膠在各種基材尺寸上的分布。資產軟件中有許多不同的曝光配置文件,從光吞吐量和強度到無像差圖像不等。WST-308還具有其他功能,例如用於溫度控制處理的可選冷板和能夠檢測和校正小位置位移的自動框架對齊模型。這樣可以確保在不同的材料厚度上始終保持相同的曝光輪廓。總體而言，WST 308是一種可靠的光阻設備，其設計目的是為各種應用提供一致和可重復的結果。它具有同類系統中最高的精度、可重復性和控制級別。該單元具有生產特征尺寸很小的光刻面膜的能力，可用於各種任務，從成像到晶圓和面膜的開發。
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