二手 SEMITOOL WST-308 #9155218 待售
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ID: 9155218
Solvent spray system
3 Phase
Current: 40 A
Frequency: 50 / 60 Hz
Voltage: 208 V
2010 vintage.
SEMITOOL WST-308是一種功能齊全的光阻處理設備,能夠為生產應用提供極其嚴格的過程控制、精確的可重復性和公差。它提供了多種可以用於光學光束光刻和電子束光刻的濕法和幹法可加工光刻膠。SEMITOOL WST 308具有全自動的單晶片工藝系統,可實現精密的光刻塗層、烘烤和前緣邊緣清潔。光敏塗層由精確的旋轉噴射噴霧Coater™控制，並使用專有的旋轉噴嘴在噴灑到晶片上的同時使光敏塗層霧化。該裝置具有獨立的溫度和速度剖面控制功能,可用於精確的塗層厚度、可重復性和附著力.晶片的邊緣采用集成的邊緣取珠機（Ebe-Bead Remarch, EBRS） ™進行預邊緣清潔和幹邊返工。WST-308工具配備了先進的真空升華烘烤資產，提供精確的均勻性和快速的周轉時間。采用雙級加熱，穩定溫度，緩解蒸發鎖定點。烘烤模型包括一個恢復功能，以確保在連續載荷之間保持精確的工藝參數。設備加工標準，耐塗層基板從一系列供應商。光刻膠型材和配方可以儲存和召回，以供重復使用。該系統滿足嚴格的過程控制參數，具有良好的均勻性和可重復性。該裝置能夠取代諸如剝離和清潔等關鍵工藝的手動技術，從而提高工藝性能和產量。該機還具有多種選擇和安全功能，包括大氣壓力監測儀、絕緣油浴和自動安全互鎖。WST 308旨在滿足各種光刻膠應用的要求,提供強大而準確的性能。此工具為中大批量生產過程提供了出色的靈活性、性能和可靠性組合。
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