二手 SEMITOOL WST-308 #9356458 待售

SEMITOOL WST-308是一種光刻設備,專為超細線（UTL）光刻工藝而設計。該系統能夠以可靠、經濟高效的方式對200 nm以下的纖細線條和空間進行復雜的陣列設計。SEMITOOL WST 308配備了先進的光學器件，用於在紫外線範圍內精確曝光光掩模。該單元內置雙波長紫外線源和曝光透鏡，數值光圈（NA）為0.49。這樣就可以以卓越的精度曝光200 nm以下和200 nm以下的細線的復雜圖案。曝光過程通過可編程的「配方」機控制。此工具允許定義一系列參數,例如暴露強度、劑量和分辨率。這確保了從光刻批次到批次的一致結果和可重復性。WST-308還配備了先進的計量工具，用於掩碼檢查、過程監測和故障檢測。這允許進行過程中的驗證和提高產量。該資產還具有一個集成的食譜庫，可以對其進行修改以快速開發最佳工藝條件。此外，該型號設計為易於使用和維護。WST 308構建在具有直觀圖形用戶界面的用戶友好平臺上。這有助於用戶快速瀏覽配方庫並根據需要調整參數。SEMITOOL WST-308是一種功能強大且可靠的光刻設備,專為超細線光刻工藝而設計。其先進的光學、自動化的配方系統、集成的計量工具和直觀的UI使其成為生產高質量、復雜、具有出色一致性和可重復性的模式的理想選擇。