二手 SEMITOOL WST-308A1CCBT #293660328 待售

SEMITOOL WST-308A1CCBT是為先進的半導體光刻應用而設計的光刻設備。該系統的開發是為了使用於制造半導體器件的敏感光刻膠工藝能夠更快、更準確、更高的產量。該單元設有單片負載鎖、渦輪分子泵、數字溫度控制器和完全互鎖的安全機器。它采用先進的光學對準工具，以確保光刻工藝中晶片的精確、可重復定位。此外,SEMITOOL WST-308A-1CC-BT還具有可編程邏輯控制器（PLC）,使用戶能夠配置單個配方和管理資產日誌數據。為保證穩定安全的環境，該型號還實現了<2.5 x 10-6 Torr的最大基壓。當用於光刻膠加工時，WST-308A1CCBT設備提供了一個45°傾斜角度的平臺，幫助減少靜力和動力，以實現更高的吞吐量。集成的晶圓船系統最多可容納8個晶圓，單晶圓負載鎖。該裝置采用先進的晶片溫度控制機，確保晶片溫度均勻為+/-0.5°C，這對於持續的光刻膠曝光至關重要。該工具還具有可調偶極子和雙極腔，可變光阻水平和均勻性。此外,快速子系統可實現高達1,800 °C/min的速度,確保每個石工循環都能產生優異的效果。WST-308A-1CC-BT還允許使用軟烘烤和硬烘烤工藝，確保高長寬比光刻實驗的結果無論基材類型如何都保持可靠。最後,SEMITOOL WST-308A1CCBT上的大型液晶顯示屏使技術人員能夠輕松查看資產信息和監控流程參數。總體而言，SEMITOOL WST-308A-1CC-BT是一種先進的光刻膠模型，旨在支持更快、更準確、更高產量的敏感光刻膠工藝。其高通量和嚴格控制的光刻參數使其成為先進半導體器件制造的理想解決方案。