二手 SEMITOOL WST-308M #9077797 待售

SEMITOOL WST-308M是為集成電路（IC）基板的高通量處理而設計的全自動光阻設備。它能夠處理多種基材和晶片，包括GaAs、SiC和矽片。它可以達到1000 °C的最高工藝溫度，電阻大於150歐姆。WST-308M具有獨特的薄膜成分特征和優化的薄膜粗糙度,從而實現了快速、可靠和精確的工藝。它提供了廣泛的石刻功能，可以在單級或多級光刻群集中運行。該系統提供與SEMITOOL兼容的標準夾套晶圓載波，或任何其他兼容的工藝單元。除了先進的過程控制和監控功能外,SEMITOOL WST-308M還設計了獨特的雙面晶圓處理機,可確保最高吞吐量。此工具可確保晶片從頭到尾安全處理,從而無需在每個處理步驟中手動旋轉基板。該資產還配備了SEMICATOR Prostatronic軟件，該軟件提供遠程流程支持，並具有簡單的圖形用戶界面。它還提供了流程模擬和流程優化功能,允許用戶根據自己的特定需求定制流程。WST-308M可用於各種IC基板,如低溫處理（LTP）和集成電路（IC）基板,以及多層金屬（MLM）沈積、堆疊介電層（SDL）和低溫至中溫IC基板等晶片。該模型提供了廣泛的工藝能力，被認為是市場上最先進的光刻膠系統之一。它的靈活性和精確度使其成為IC基板加工和掩蔽的絕佳選擇。