二手 SEMITOOL WST-406MG #7441 待售

SEMITOOL WST-406MG是為各種半導體加工應用而設計的高性能光刻設備。該系統旨在實現理想的亞微米管線和接觸孔模式，以及快速均勻的大面積模具模式。該裝置配有加工室、加熱器、控制裝置和軟件。該工藝室由304個不銹鋼構成，具有可伸縮的石英敏感器圓頂，減少了熱梯度。加熱器由兩個單管浸入式加熱器組成，以實現快速周轉和最大功耗。溫度由獨立的電子控制器控制，提供精確的溫度控制和整個腔室的均勻加熱。該機器采用高強度脈沖相幹激光源，能夠快速曝光光致抗蝕劑。激光源耦合到機械掃描的Y/Z萬向節檢流計，提供精確的曝光模式。該工具還具有獨特的高精度對準子系統，可確保高精度曝光光刻膠圖案。WST-406MG具有集成的四軌分配單元和溫度控制的自動自旋漂洗幹燥單元。這樣可以以最高的精度、一致性和速度執行晶圓處理。此外，資產還配備了一個鎖載站，可以快速裝卸，而不會使腔室暴露在室溫下。模型的用戶界面是基於以太網的圖形用戶界面（GUI）。這樣可以方便地訪問設備設置、參數和工藝配方。接口還允許遠程操作系統。綜上所述，SEMITOOL WST-406MG是一種專為半導體加工應用而設計的健壯、高性能的光阻裝置。該機器提供精確的圖樣，精確的對準和曝光，以及快速和一致的晶圓處理。集成的GUI使操作工具更加方便、方便。