二手 SEMITOOL WST-506MG #9265376 待售

SEMITOOL WST-506MG
製造商
SEMITOOL
模型
WST-506MG
ID: 9265376
晶圓大小: 6"
Wet solvent strippers, 6".
SEMITOOL WST-506MG光刻膠設備是一種可靠、高效、經濟高效的旋轉塗層,用於在精密塗層應用中將光刻膠層沈積到基板上。WST-506MG配備了Langmuir-Blodgett微米以及一個用於精確基板旋轉塗層需求的旋轉站。該系統還內置了一個三步控制器,可以精確、重復地控制塗層速度。該單元包括晶片抓握等標準特性,方便安全的晶片操控,雙速變速箱和寬直徑範圍,允許小到大基板的精確塗層。基板裝載機用於在旋轉前在基板上手動分配抗蝕劑,並允許高速、均勻的塗層。電機為無刷直流電機,軸承安裝有高扭矩軸向推力軸承,保證平穩平穩運行,精度一致。機器還具有精密軟件套件,允許用戶選擇多個塗層配置文件,存儲配置文件,並對工具進行編程以實現高效的循環時間。此外,SEMITOOL WST-506MG還具有多種安全功能,例如在打開引擎蓋時關閉資產的互鎖電路和緊急停止按鈕。WST-506MG在雙圖樣光刻(DPL)旋轉塗層、保形塗層和厚膜旋轉塗層方面表現出色。該模型已在S1827、S1813、S1805以及其他專有抗蝕劑等各種抗蝕劑材料上進行了測試。SEMITOOL的結果證明了SEMITOOL WST-506MG對各種塗層要求的準確性和可重復性的高度保證。總體而言,WST-506MG光刻設備是廣泛的自旋塗層應用的絕佳選擇。其嚴格的安全協議、有競爭力的價格和可靠的準確率使其成為任何塗料工作的中標選擇。
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