二手 SEMIX Opus 2/3 #293650490 待售

SEMIX Opus 2/3是一款光刻設備，設計用於生產具有最小缺陷的光滑、高分辨率設備。它由全球領先的先進光刻技術提供商SEMIX公司制造。該系統提供20 nm及以上的高端光刻性能和功能尺寸。它由兩個主要組成部分：Optic Pro工具和晶圓管理單元（WMS）。Optic Pro是SEMIX Opus 2/3機器的主要組件,負責將高分辨率圖像帶入晶圓。它具有獨特的光學元件陣列,可協同工作,在晶圓上創建所需圖樣的高對比度圖像,然後進行幀移圖像。另一方面,WMS是工具的平衡和控制組件。它提供了Optic Pro和晶片之間的物理接口,管理光刻過程所需的化學品、機械運動和其他環境條件的流動。它利用先進的控制系統來監測和調整溫度、壓力、光線照射等各種參數，以確保準確性和可重復性。SEMIX Opus 2/3資產流程開始於將光敏的光聚合物層稱為光抗蝕劑應用於矽片。應用此層後,Optic Pro工具將通過多級衍射光學器件將所需陣列的掩碼投射到晶片上。當光線通過此模式時,它將根據設計要求被阻擋或傳輸。任何阻擋光線的區域都將受到開發人員解決方案的保護,並且保持未蝕刻狀態。晶圓的其余部分將被沖走，只留下所需的圖案。下一步是沖洗過程。在這裏，不希望的抗蝕層被沖洗掉從晶圓，留下一個清脆，幹凈的圖案。然後用專門的幹式/濕式試紙工具剝離抗蝕劑。最後,將制備的晶片切成所需的器件結構並檢查是否有缺陷。SEMIX Opus 2/3是一種高效、精確的光刻膠模型，能夠生產出缺陷最小的高質量微設備。它非常適合以市場上最具創新性的材料生產出最優秀的設計。