二手 SEMIX / TAZMO SOG Track System #293616842 待售

SEMIX/TAZMO SOG Track Equipment是一種創新的光阻系統，旨在為半導體和其他器件制造商提供創建電路結構的經濟高效的解決方案。該單元可用於形成任何形狀或大小的圖樣，並因其能夠快速產生厚度均勻的光敏層而提供對合成結構的精確控制。機器利用自旋玻璃（SOG）軌跡來創建光致抗蝕層,然後通過光掩模將其曝光以創建所需的圖樣。軌道由外殼內可旋轉的基板層構成，在高速旋轉時將基板固定到位。當整個表面暴露於相同的自旋速率時，這確保了均勻的玻璃沈積，從而防止了層的變形或汙染。基板層之後可以提前或向後張緊，以便控制SOG層的厚度，還可以使用加熱元件來改變溫度，以便更精確的控制。SEMIX SOG跟蹤工具中使用的光掩碼由幾層組成。上層由細金屬紋組成，而下層則由經過設計的蠟質聚合物組成，以防止曝光光的任何幹擾。曝光光隨後通過掩模傳遞到沈積的光致抗蝕劑層上，然後該層將執行所需的陣列操作。TAZMO SOG Track Asset具有高度可定制和高效的特點,為最終用戶提供了靈活性。通過控制旋轉速度、層的厚度和加熱元件的溫度，用戶可以為不同的設備應用創建各種復雜的結構。此外，軌道易於清潔，可以重復使用，使其具有成本效益和效率。總體而言,SOG Track Model是半導體和其他設備制造商的高效解決方案,為創建復雜的結構提供了可靠且經濟高效的方法。它提供了靈活性和對合成光刻膠層的控制,使用戶能夠為任何應用程序創建任何形狀或大小的圖案。