二手 SEMIX / TAZMO TR 8152 #9277677 待售
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ID: 9277677
晶圓大小: 6"
System, 6"
Process: SOG Deposition
Chemical: SOG, IPA
Coat module
Robot
(6) Hard bakes
Canister IPA
Condizioner
Computer / Display.
SEMIX/TAZMO TR 8152光抗蝕劑設備是一種可靠和通用的工具,旨在滿足矽片生產中最復雜的蝕刻和光刻需求。該系統采用自動化、高精度的工藝,提供了廣泛的功能和功能,以確保為電子行業創建尖端的半導體器件。該單元包括一個光學元件和一個自動化的過程控制器。光學級包括LED光源、光纖束照明、全畫幅CCD相機和光刻面罩操控機。自動化過程控制器通過在操作過程中監控、調整和控制刀具參數,幫助優化蝕刻和光刻過程。該資產還包括一個功能強大的用戶友好界面程序,允許用戶存儲配方和優化所有類型的材料結構的蝕刻過程。這樣可以根據客戶的要求輕松設置和操作模型。SEMIX TR 8152光抗蝕劑設備還具有集成的視覺系統,能夠識別和補償差異,產生高精度結果。此外,還包括一種高速旋轉塗層,它可以在垂直和水平方向上旋轉塗層光致抗蝕劑,從而使光致抗蝕劑能夠準確地沈積在基板上,並控制光致抗蝕劑的均勻性和厚度。該單元還提供了一種低溫等離子體蝕刻機,均勻地蝕刻晶片,具有一致性和可靠的結果。TAZMO TR8152 Photoresist Tool提供了廣泛的高級過程控制功能,以確保最高質量的結果和安全可靠的操作。該資產經過設計和驗證,可用於無故障操作,並具有若幹環境保護措施,有助於防止汙染和其他危險情況。SEMIX/TAZMO TR8152 Photoresist Model是尋求生產過程中最高質量和精確度的公司的理想解決方案。它不僅為高精度光刻和蝕刻工藝提供了可靠的來源,而且其先進的功能使其非常適合需要非常具體和復雜成分的客戶的應用。產生的結果質量最高,可以輕松優化以滿足特定的客戶需求。
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