二手 SEMIX / TOK CSH 8121D #158244 待售

SEMIX/TOK CSH 8121D是為制造半導體器件而設計的專用光刻設備。它由長短脈沖曝光單元、掩模對準器和基板處理器組成。該系統被用於多種應用，如布線、互連和其他先進的半導體工藝。TOK CSH 8121D的長脈沖曝光單元能夠將基板的表面精確陣列化到亞微米級。它利用激光曝光技術，以最大10微米的分辨率將晶片上的光敏材料精確曝光。激光的脈沖寬度可以根據所暴露的材料和所需的結果進行調整。掩模對準器能夠使用非接觸掩模配準技術對基板上的物料層進行精確對準。它配備了一個自動嵌入式成像單元，提供實時觀察和反饋。這臺機器在整個過程中也提供了高精度的對準。SEMIX CSH 8121D的基板處理器是一種全自動的解決方案，利用介電激光燒蝕將光敏材料塗抹在晶圓上。該處理器能夠進行基於掩碼和陣列的光阻沈積,並且還可以配置為分配UV硬化光阻。可以使用多種分配格式進行批處理或連續操作。所有這些組件都集成到自動化工具中,該工具可快速且經濟高效地生產復雜的半導體器件。該資產靈活、穩定和可靠，並由2000多種不同流程的不同配方庫提供支持。這使半導體制造商能夠始終如一、快速地創建各種設備。總體而言，CSH 8121D是一種用途廣泛且可靠的光阻模型，其設計目的是在制造先進半導體器件時提供卓越的精度和可靠性。它易於使用,並且可以配置為幾乎適合任何應用程序。因此，它是尋找可靠光刻設備的制造商的理想選擇。