二手 SEMIX / TOK / TAZMO SOG #9097200 待售

SEMIX / TOK / TAZMO SOG
製造商
SEMIX / TOK / TAZMO
模型
SOG
ID: 9097200
晶圓大小: 6"
SOG Coater, 6".
SEMIX/TOK/TAZMO SOG是朝日玻璃公司開發的一種專門的光刻膠系統。Ltd.它用於在各種電子和半導體器件的制造過程中產生超細線型圖案。該系統由三個核心組件組成:4位型曝光單元、精細曝光控制求解器和後處理工具。4位型曝光單元設計為針對每個曝光區域優化曝光時間、聚焦和強度。它能夠暴露於各種抗性材料中,其細線圖案寬度為0.75 μ m。求解器利用優化的光學模型來實現最大的曝光控制精度和重復性。這允許改進分辨率和可重現的陣列參數。後處理工具用於設置線型參數和調整曝光時間,以微調線型並抵抗分辨率。TOK SOG系統與傳統光刻系統的不同之處在於,它具有較短的處理時間,以實現細線圖樣和更高的分辨率。更薄的抗蝕劑和超細線條圖樣分辨率允許增加圖案密度和設計靈活性。改進的分辨率和可重復性還能提高模式精度和產量。SEMIX SOG非常適合印刷電路板、半導體生產、醫療器件生產等超細線圖樣應用。它提高的分辨率和效率使它成為那些希望縮短加工時間和提高生產過程產量的人的一個有吸引力的選擇。
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