二手 SEMIX / TOK TD6133UD #293657151 待售

SEMIX/TOK TD6133UD光刻設備是為開發先進的光掩模應用而設計的。該系統采用使用石英光學蝕刻單元設計的抗蝕劑蝕刻圖樣，允許高精度和分辨率。機器使用反應性離子蝕刻工藝創建蝕刻圖樣，確保了高性能和可靠性。該工具非常適合用於各種光掩模生產領域。該資產采用石英光學蝕刻模型，配備350瓦高能燈，可精確蝕刻頂級電路。該設備采用高功率激光標線筆跡設計，允許以最高精度和小激光點制作小幾何形狀和光掩模圖案。系統還有一個高分辨率的圖像處理器，它允許對標線和光掩模進行優化，以實現目標光阻粘附。TOK TD6133UD光刻裝置有一個MAX-8的MICRO處理器,它針對快速蝕刻和成像以及光掩模的測量和表征進行了優化。該機器還允許利用具有不同分子量或組成的光刻膠來提高光掩模的質量和性能。該工具的設計具有很高的蝕刻和成像重復性，確保了生產和質量的一致水平。SEMIX TD6133UD資產實現的最大分辨率為28 nm。它在10-4 Torr的真空狀態下運作，最大沈積或蝕刻速率為10 nm/s。該模型與PCR和OMI兼容，具有最小沈積厚度0.2 nm的抗蝕劑保形沈積。該設備還具有激光燒蝕能力，具有高精度的亞微米級地層。綜上所述，TD6133UD光刻膠系統是為開發先進的光掩模應用而設計的。該單元使用石英光學蝕刻機和反應性離子蝕刻工藝進行蝕刻圖樣。它具有MAX-8 MICRO處理器,最大分辨率為28 nm,最大沈積或蝕刻速率為10 nm/s。該工具還具有高分辨率的圖像處理器，可以優化標線和光掩碼。此外，該設備具有激光燒蝕能力，具有高精度和PCR和OMI兼容性。