二手 SEMIX / TOK TR 6132U #57578 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 57578
晶圓大小: 4"
Spin On Glass (SOG) Coater, 4"
One coating station
(3) Hot plates
Dual senders & receivers
U-Turn configuration
Dry air: PS, 1/4" Female, 4 to 7kgs / cm², 250 Nl / min
Cooling water: 20 A Vp, 1kg / cm², 10 l / min
DI Water: 20 A Vp, 2kgs / cm², 15 l / min
Temperature control range : 40°C - 70°C
Nozzle: Flat-type (PVC MVP-9010), cone-type EX-424
Rinsing time: 100 - 300 Seconds
Constant temperature reservoir: 10l Maximum 40°C - 70°C
Power supply: 200 VAC, Single phase, 18 Amps.
SEMIX/TOK TR 6132U是由半導體材料行業領先技術公司TOK開發的光刻設備。該系統用於制造光刻掩模和半導體器件。該裝置利用先進的光刻工藝對半導體材料進行精確制圖。它帶有一個集成的照相模擬器和多個曝光參數,簡化了在基板上創建復雜圖案的過程。此外,它還包括由預曝光和後曝光組成的兩步成像過程。預曝光有助於確保整個基板上圖案的均勻性,而後曝光有助於細化圖案並固定所需尺寸。機器有一個內置的數字圖像處理工具,使用戶能夠調整影響圖樣打印過程的各種參數。這些參數包括暴露的小平面方向、陣列大小、對齊精度和圖像定義。該資產還配備了自動基板裝卸機制和高精度機器人定位模型,以確保精確的圖樣打印過程。設備的用戶界面相當人性化,可以讓用戶輕松調整參數。它還包括一個實時監控系統,以便用戶可以連續監控模式打印過程的進度。該單元附帶一個軟件程序,使用戶能夠優化和編輯模式打印過程。此外,TOK TR 6132U是一種高效的機器,能夠產生高成功率的高質量模式。此外,它還配備了自動清洗工具,幫助在打印過程中清除基板上不希望得到的殘留物。最後,資產也符合各種國際標準,如IEC 60601、ISO 10605、UL 60950。這確保了該模型可以安全地用於廣泛的行業,包括醫療、航空航天和通信技術。
還沒有評論