二手 SEMIX / TOK TR 6132UD #9085096 待售

SEMIX/TOK TR 6132UD是一種光阻設備，設計用於在多種材料上提供精確的薄膜圖案和塗層，包括用於半導體或其他微電子元件的基板。該系統適用於需要細線寬度分辨率的應用,如半導體器件處理、MEMS制造和EMI屏蔽。該單元采用光源、光學、舞臺控制和光刻過程的集成機器。LED光源在整個晶片範圍內提供均勻的照明漫射光,能夠同時產生短波長和長波長分量,從而能夠曝光各種光刻膠。具有相關+/-5微米分辨率的高數值目標可提供10微米或以下的非常高分辨率成像。級控制工具監視晶片表的位置和速度，允許晶片在工藝的每個曝光步驟中精確和可重復定位。該資產還受到溫度控制，以確保光刻膠的精確曝光水平，從而在整個晶片上實現精確的陣列和均勻的薄膜厚度。該模型采用精密晶片自旋工藝，速度範圍為0-4000 RPM，允許光刻膠在整個晶片上均勻擴散。所得薄膜圖樣質量優良，具有較好的識別小圖樣的工藝能力。最後，設備配備了先進的軟件，用於監測和記錄每個工藝步驟的暴露參數，從而能夠跟蹤工藝歷史。總體而言,TOK TR 6132UD提供了一個高度可靠的系統,具有精確的圖案設計功能,能夠在多種材料上創建一致且精確的薄膜塗層。結合集成的LED光源、高分辨率光學、級控制、晶圓自旋，該單元配備了為要求苛刻的薄膜微電子應用提供最高質量的圖樣和最佳的工藝控制。