二手 SEMIX / TOK TS7171D-H #9252318 待售

SEMIX / TOK TS7171D-H
製造商
SEMIX / TOK
模型
TS7171D-H
ID: 9252318
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
Coater / Developer system, 6" 1994 vintage.
SEMIX/TOK TS7171D-H光刻設備是一種先進的光刻系統,具有高通量、高標準的可重復結果和整體優異的性能。這種裝置非常適合硬模蝕刻、濕法和幹法開發,以及先進的工藝,如厚膜提升和先進的光刻應用。該機器具有令人印象深刻的功能集,旨在幫助優化光刻膠工藝並最大限度地提高吞吐量。工具的核心是其強大的掃描儀,它可以輕松處理大型晶片。該資產包括一個熱穩定爐、內置風扇和先進的空氣過濾模型,它允許優化氣流到設備的所有區域。這有助於提供清潔、無顆粒的結果並確保高產率。TOK TS7171D-H Photoresist System還具有直觀、用戶友好的觸摸界面控制面板。其特點包括控制覆蓋公差、曝光增量、掃描速度、溫度公差、熱均勻性等。該單元還包括一項獲得專利的交叉掃描技術,該技術顯著提高了掃描速度,並消除了錯位。觸摸控制面板非常人性化,為用戶提供了一個方便的方式來監控和調整目前的流程。該機還具有多項安全功能,包括集中互鎖工具、過溫報警、煙霧罩狀態監控、視頻監控和緊急關閉系統。這確保了操作員的安全工作環境以及SEMIX TS7171D-H PhotoresistAsset的最佳性能。TS7171D-H Photoresist Model非常適合需要高吞吐量、可重復結果、最佳過程控制和優化以及卓越安全標準的應用。該設備還配備了先進的監測和診斷系統,可幫助在潛在問題變得嚴重之前發現這些問題,從而防止代價高昂的停機。
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