二手 SEMIX TR 6133UD #9226635 待售

SEMIX TR 6133UD
製造商
SEMIX
模型
TR 6133UD
ID: 9226635
晶圓大小: 6"
SOG Coater, 6".
SEMIX TR 6133UD是一種光刻設備,其設計目的是為微小的電子、機械和半導體器件特性和組件提供高精度和高精度的直接光刻成像。該系統能夠在亞微米級和納米級進行高分辨率成像。其晶片板設計具有最大限度地提高接觸級表面成像能力的特性,從而獲得極其精確的結果。TR 6133UD單元利用獨特的光刻塗層實現高精度的直接光刻成像。這種塗層是專門為確保最小的線寬變化,準確的線,和可靠的,可重現的曝光設計。此外,塗層對水、化學品和其他可能妨礙工藝精度的液體汙染物具有抵抗力。與光刻塗層一起,該機利用多種專有技術來確保最大的印刷精度。其中包括具有專門鏡頭設計的高度精確的光學工具、先進的光學對準技術以及用於定位光刻層的嚴格自動化。SEMIX TR 6133UD資產支持一系列光刻膠組合,使用戶能夠根據特定的設備需求定制其成像過程。這包括各種類型的光源,如熱、紫外線(UV)和深紫外線(DUV)光。此外,該模型還包括一個高分辨率、熱隔離的小型步進電機,以確保最小的熱漂移。此外,TR 6133UD設備采用集成對準標記識別系統設計.該單元利用高精度光學子機精確測量和區分諸如對準標記等特征,使整個晶片板上的多次曝光都能精確對準。為了確保可靠的運行,SEMIX TR 6133UD工具得到了極高質量的控制資產的支持。此模型包括自適應時間和溫度控制、自動標線定位和高分辨率成像功能等功能。TR 6133UD光刻設備提供卓越的精度和可重復性,使用戶能夠以極好的分辨率和保真度產生極其精確的微觀和納米結構成像。其優化的成像性能和集成的控制系統確保用戶能夠為其要求最苛刻的成像應用可靠地產生高質量的結果。
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