二手 SEMIX TR 6133UD #9250101 待售

SEMIX TR 6133UD是為微電子工業設計的最先進的光刻設備。該系統的開發是為了滿足對超細線寬的日益增長的需求,能夠處理低至0.3微米的特征線。主要處理模組為噴霧機單元、PAD處理器和E-Beam（e-beam）模組。噴霧器裝置的設計是為了快速、準確地將光致抗蝕劑塗抹到基材上。這是利用由6軸機械臂創建的平行光束完成的。旋轉級用於精確定位噴霧器上的基板，而加熱的噴嘴則將均勻、均勻的光刻膠層施加到基板上。此單元使用戶在處理基板時能夠獲得較高的分辨率。PAD處理器負責控制流程參數。它使用戶能夠設置光刻膠成分和精確的曝光參數，以便準確地加工基板。PAD處理器的優點之一是可以與廣泛的光刻膠搭配使用。此外，PAD處理器還允許用戶快速調整不同基板的參數。E-Beam模塊設計為與PAD處理器配合使用，以準確地曝光光刻膠。它利用強大的電子束來實現均勻的特征線，並在處理底物時提供高分辨率。E-Beam模塊還能夠在陣列基板時自動放大小特征。總體而言，TR 6133UD是微電子行業強大的光刻裝置。它利用噴霧器、PAD處理器和E-Beam模塊的組合來有效地處理基板。該機提供高分辨率和精確度，設計用於加工低至0.3微米的特征線。對於那些尋求頂級光刻能力的人來說，這是一個極好的選擇。